?半導(dǎo)體零件加工是一個(gè)復(fù)雜且精細(xì)的過程，涉及多個(gè)關(guān)鍵步驟和技術(shù)。半導(dǎo)體零件加工中的切削方法主要包括以下幾種：

⑴刀片切割

·全切割：通過切割到固定材料（如切割帶）來完全切割工件，是半導(dǎo)體制造中基本的加工方法。

·半切：切削到工件的中間來產(chǎn)生凹槽，常用于DBG工藝中，通過研磨同時(shí)進(jìn)行減薄和芯片分離。
·雙重切割：使用雙切割鋸?fù)瑫r(shí)對(duì)兩條線進(jìn)行全切割或半切割，以提高產(chǎn)量。

·分步切割：利用具有兩個(gè)主軸的雙劃片機(jī)分兩個(gè)階段進(jìn)行全切割和半切割，常用于處理布線層。

·斜角切割：在分步切割過程中，使用半切割側(cè)帶有V形刃的刀片分兩個(gè)階段切割晶圓，實(shí)現(xiàn)高模具強(qiáng)度和高質(zhì)量加工。

·切碎機(jī)切割：刀片從工件正上方降下，垂直切入工件，常用于局部開槽。

·斬波器橫移：在斬波器切割過程中通過水平移動(dòng)工件來切割工件，適用于部分切削。

·圓形切割：在切碎機(jī)切割后，通過旋轉(zhuǎn)加工臺(tái)將工件切割成圓形。
傾斜切割（傾斜角度主軸）：通過在加工臺(tái)上安裝一個(gè)傾斜的主軸來實(shí)現(xiàn)一定角度的切割，用于需要角切的工藝。

⑵激光切割

·使用激光技術(shù)將晶圓分離成晶粒，涉及將高濃度的光子流輸送到晶圓上，產(chǎn)生局部高溫以去除切割通道區(qū)域。

·激光切割的成本相對(duì)較高，但可以實(shí)現(xiàn)高精度和高效率的加工。

⑶微細(xì)切削加工

·利用高分辨率的實(shí)體微小刀具，在精密及超精密的切削機(jī)床上，通過機(jī)械力的作用去除工件余量。

·加工材料廣泛、加工形狀復(fù)雜、加工精度高，加工形狀主要依靠刀具和機(jī)床保證。

⑷外圓切割

·使用較早的切割方法，通過刀片高速旋轉(zhuǎn)與硅錠接觸，形成切割。

·由于受外圓刀片裝夾方式和刀片剛度的限制，降低了切割精度和平面度，逐漸被其他方式取代。

以上切削方法各有特點(diǎn)，適用于不同的半導(dǎo)體零件加工需求。在實(shí)際應(yīng)用中，需要根據(jù)具體的加工要求和條件選擇合適的切削方法。